门阀 XGT

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产品介绍

门阀 XGT

系列/CAD	使用压力范围 (Pa)	使用流体	门尺寸 (高×宽) (mm)	动作压力 (MPa)
XGT	大气压～1×10^-6	惰性气体系的真空	32×222 46×236 50×336	0.45～0.6
特长	对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。

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